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期刊简介
- 《电子工业专用设备》(双月刊)创刊于1971年,是由中国信息产业部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办。是以报道国内外半导体设备为主,反映微电子制造前/后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。主要栏目:趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。
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基本信息
- 期刊名称:电子工业专用设备
- 主管单位:中国电子科技集团公司
- 主办单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
- 国内刊号:CN 62-1077/TN
- 国际刊号:ISSN 1004-4507
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- 出刊日期:
- 期刊定价:
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- 邮发代码:
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- 所在省区:北京
- 邮政编码:
- 联系地址:
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投稿信息
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- 学科分类:自动化|计算机
- 版面费用:待核实
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- 字数要求:6000-16000
- 查重要求:-
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- 复合因子:0.348
- 综合因子:0.207
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- 审 稿 费:待核实
- 稿费:待核实
- 本刊可发:
- 特殊属性:第一批认定学术期刊
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联系方式
- 投稿网址:
- 官网网址:
- 电话传真:010-64655251/41;57989025(202406期)
- 电子邮箱:kejiqikan@cetc.com.cn(202406期)
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